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天津中環(huán) RTP-小型快速退火爐

聯(lián)系人: 陳經(jīng)理
手機(jī): 18934727310
座機(jī): 0771-5330368 / 5307368
QQ: 3001673956 / 3001664790 / 3001645900 / 3001641208
網(wǎng)站: usxq.cn
地址: 中國(guó)(廣西)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)南寧片區(qū)云英路8號(hào)五象總部大廈B座6樓
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摘要

采用紅外燈管加熱,通過(guò)滑動(dòng)爐體實(shí)現(xiàn)快速降溫。應(yīng)用于半導(dǎo)體或太陽(yáng)能電池基片退火。也可用于快速熱退火、快速熱氧化、快速熱氮化、硅化物合金退火、電極合金化、氧化物生長(zhǎng)、離子注入后退火、薄膜沉積等工藝試驗(yàn)

產(chǎn)品介紹

產(chǎn)品描述


產(chǎn)品應(yīng)用:


該電爐采用紅外燈管加熱,通過(guò)滑動(dòng)爐體實(shí)現(xiàn)快速降溫。應(yīng)用于半導(dǎo)體或太陽(yáng)能電池基片退火。也可用于快速熱退火、快速熱氧化、快速熱氮化、硅化物合金退火、電極合金化、氧化物生長(zhǎng)、離子注入后退火、薄膜沉積等工藝試驗(yàn)


產(chǎn)品特點(diǎn):


可在真空/氣氛/空氣等不同環(huán)境下通過(guò)快速移動(dòng)爐體,加之強(qiáng)風(fēng)冷設(shè)計(jì),可對(duì)樣品進(jìn)行快速升降溫處理;管內(nèi)測(cè)溫設(shè)計(jì),溫控精度高,升溫速率50℃/s;緊湊的臺(tái)式設(shè)計(jì),快速連接法蘭,減少了爐管因安裝造成損壞的可能,方便操作。


產(chǎn)品名稱(chēng)

RTP-小型快速退火爐

產(chǎn)品型號(hào)

RTP-G11103-K

額定功率

9KW

額定電壓

220AC 50/60Hz

溫度可達(dá)

1000°C 

連續(xù)工作

950°C(<1 小時(shí))

加熱區(qū)長(zhǎng)度

300mm

恒溫區(qū)長(zhǎng)度

100mm

加熱元件

紅外燈管

溫度控制

國(guó)產(chǎn)程序控溫系統(tǒng)可編程50段程序控溫;

控制精度

±1℃

石英管尺寸

Φ110*380MM

爐管材質(zhì)

石英管

滑動(dòng)距離

355mm

滑動(dòng)方式

手動(dòng)滑動(dòng)

建議升溫速度

室溫900℃:30℃/sec
900℃~1000℃: 10℃/sec

外形尺寸

950 X 350 X 530 mm 

重量

45Kg

標(biāo)準(zhǔn)配置

氣路總成一套(含真空壓力表)石英管一支、高溫手套一副。76MM的樣品石英架一個(gè)。


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業(yè)務(wù)咨詢(xún):0771-5330368  5307368  5328226 儀器熱線(xiàn):18934727310 耗材熱線(xiàn):18978825592/0771-5330368(周一至周五 8:30~12:00  13:30~18:00)

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